详细摘要： 本设备基于双旋转补偿器调制技术一次性获取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱，可实现基底上单层到多层薄膜的膜厚、光学常数的快速分析表征。

详细摘要： SE-VE椭偏仪是基于单旋转补偿器调制技术一次性获取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光谱，可实现基底上单层到多层薄膜的膜厚、光学常数的快速分析表征。